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用于歐姆接觸形成的高速紫外激光退火 microPRO XS OCF 系統(tǒng)提供了一個多功能平臺，可實現(xiàn)高重復(fù)性和高吞吐量的激光退火。該系統(tǒng)將穩(wěn)定的激光光學(xué)模塊與3D-Micromac的模塊化處理平臺相結(jié)合，非常適合用于碳化硅（SiC）功率器件的歐姆接觸形成（OCF）。
更新時間：2025-12-31
型號：microPRO XS OCF
廠商性質(zhì)：代理商
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