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在半導體制造邁向更小節(jié)點（如5nm、3nm）的進程中，激光修整金屬線技術已成為提升芯片良率、實現(xiàn)功能定制化及降低制造成本的關鍵后道工藝。它利用高能量激光束對晶圓上的金屬互連層進行非接觸式精密加工，在微米甚至納米尺度上“改寫”電路功能，是芯片...
隨著納米技術的進步和薄膜工藝的發(fā)展(太陽能電池，CVD，PVD，DLC，MEMS等)，納米力學測試已成為標準方法。這種方法改進了傳統(tǒng)硬度測試的不足，通過J尖的壓劃頭，高的空間分辨率和較精確的原位載荷-位移數(shù)據(jù)，可以較精確測量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學測試。納米壓痕-單一/多次壓痕，根據(jù)ISO14577測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度，楊氏模量，拉伸和vonMises應力，接觸剛度等。納米劃痕-采用恒定、漸進和用戶自定義可編程加載方式，評價薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕...
白光干涉儀是目前三維形貌測量領域精度最高的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了白光干涉儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。原理：它是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得...
隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界先進的主動隔振性能。本產(chǎn)品通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調(diào)的模塊化設計，無需為大多數(shù)儀器安裝所需的升降設備，從而簡化了安裝過程。適用于各類大型電子顯微鏡AEM、SEM、ATM、TEM，干擾儀防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統(tǒng)防震臺，時頻系統(tǒng)防震臺，大型半導體設備防震臺，激光設備主動防震！工作原理：安裝有測量和制...
近年來，隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展，白光干涉儀在市場上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn)，受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應用于半導體制造、微納材料及制造、航空航天等，下面我們就來具體的了解一下這款儀器！白光干涉儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護成...
什么是隔振？對于來自于構造物內(nèi)部或外部的給構造物帶來影響的振動施以控制力，以減輕振動，這就是隔振。隨著工業(yè)的快速發(fā)展，為了去除給測量裝備帶來影響的振動，人們開發(fā)了隔振臺。而給隔振臺的隔振效果帶來影響的有兩個因素，分別是振動絕緣體的固有振動頻率(NaturalFrequency)和阻尼(Damping)。固有振動頻率是指某種物體共振的頻率，阻尼則是指在振動運動計中消除能量，以減輕振動的特點。隔振臺就是用來隔絕外界和儀器之間的震動傳遞，主要是看幾個方面的參數(shù)：隔振頻率，隔振方式（...