微流控缺陷檢測

簡要描述：微流控缺陷檢測 Nanotronics nSpec Macro可以照亮樣品的整個面，或設(shè)置照明角度和/或離散照明矢量。明場，暗場，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED，配合使用可調(diào)節(jié)照明的強度，顏色和位置。

產(chǎn)品型號：Nanotronics nSpec Macro
廠商性質(zhì)：代理商
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更新時間：2025-09-04
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微流控缺陷檢測產(chǎn)品簡介

1、nSpec Macro是一種快速自動晶圓宏觀檢測儀，無論您有多特殊的晶圓檢查要求，我們都能提供一系列解決方案來讓您獲得快速的結(jié)果。這種緊湊的系統(tǒng)設(shè)計用于對200 mm以下的晶圓進行高通量宏觀檢查。以毫米為單位，nSpec Macro可以自動檢測并量化從50到100微米的眾多缺陷，這取決于視場或晶圓尺寸。

2、nSpec Macro可以照亮樣品的整個面，或設(shè)置照明角度和/或離散照明矢量。明場，暗場，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED，配合使用可調(diào)節(jié)照明的強度，顏色和位置。

3、該系統(tǒng)會自動導(dǎo)出CSV文件，并且與SECS / GEM兼容，也可以根據(jù)客戶要求進行定制。

自動化晶圓處理功能

所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿足行業(yè)標準要求的晶圓裝載機。Nanotronics創(chuàng)造了末端執(zhí)行器，可將整個單個晶圓和/或帶有的晶圓加載進去。每個末端執(zhí)行器都是根據(jù)客戶的需求設(shè)計的。

光學(xué)特性

暗場照明模式照明角度：0度

傾斜照明模式照明角度：0至80度

明場照明模式照明角度：90度

正交照明模式照明角度：90度（通過鏡頭）

晶圓裝載機

一次運行1個卡夾：標準H型卡夾

標準晶圓尺寸：50、75、100、150或200mm

控制軟件

配方易于配置，并可以根據(jù)需要保存?？梢园错樞蜻M行多次掃描，并且在照射角度，強度和波長方面具有*的靈活性。

系統(tǒng)參數(shù)

重量：62kg

尺寸（寬x深x高）：67厘米 x 74厘米 x 65厘米

蕞小真空要求：20 in.Hg

電源：110v / 220v，3.5安培

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